ÇöóÁ¶õ? Á¤ÀÇ, Á¾·ù, Àû¿ë ºÐ¾ß ¹× ÇöóÁ ÅäÄ¡ ±â¼ú
ÇöóÁ(Plasma)´Â °íü, ¾×ü, ±âü¿¡ ÀÌ¾î ¹°ÁúÀÇ Á¦4ÀÇ »óÅ·ΠºÒ¸®¸ç,
±âü°¡ °í¿Â ¶Ç´Â °ÇÑ Àü±âÀû ¿¡³ÊÁö¸¦ ¹Þ¾Æ ÀÌ¿ÂÈµÇ¸é¼ »ý¼ºµÇ´Â »óÅÂÀÔ´Ï´Ù.
ÇöóÁ ³»ºÎ¿¡´Â ÀüÀÚ, ÀÌ¿Â, Áß¼º ÀÔÀÚ°¡ È¥ÇյǾî Á¸ÀçÇϸç,
Àü±âÀû Ư¼º°ú ³ôÀº ¹ÝÀÀ¼ºÀ» °®´Â °ÍÀÌ Æ¯Â¡ÀÔ´Ï´Ù.
ÀÌ·¯ÇÑ Æ¯¼ºÀ¸·Î ÀÎÇØ ´Ù¾çÇÑ »ê¾÷ °øÁ¤¿¡¼ ÇÙ½É ±â¼ú·Î Ȱ¿ëµÇ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
ÇöóÁÀÇ Æ¯Â¡
- Àü±â Àüµµ¼ºÀÌ ³ôÀº ÀÌ¿ÂÈ »óÅÂ
- °í¿Â ¹× °í¿¡³ÊÁö »óÅ À¯Áö °¡´É
- ÈÇÐ ¹ÝÀÀ¼ºÀÌ ¸Å¿ì ³ôÀ½
- Àü±âÀå ¹× ÀÚ±âÀå¿¡ ÀÇÇØ Á¦¾î °¡´É
ÇöóÁÀÇ Á¾·ù
1. ¿ ÇöóÁ (Thermal Plasma)
- ÀüÀÚ¿Í ÀÌ¿ÂÀÇ ¿Âµµ°¡ °ÅÀÇ µ¿ÀÏ
- ¼öõ~¼ö¸¸ ¡ÉÀÇ °í¿Â »óÅÂ
- ÇöóÁ Àý´Ü, ¿ëÁ¢, Æó±â¹° ó¸® µî¿¡ »ç¿ë
2. ºñ¿ ÇöóÁ (Non-Thermal Plasma)
- ÀüÀÚ ¿Âµµ´Â ³ô°í ±âü ¿Âµµ´Â ³·À½
- Àú¿Â °øÁ¤¿¡ ÀûÇÕ
- ¹ÝµµÃ¼, Ç¥¸éó¸®, ȯ°æ Á¤È µî¿¡ »ç¿ë
ÇöóÁÀÇ ÁÖ¿ä Àû¿ë ºÐ¾ß
1. ±Ý¼Ó °¡°ø ¹× »ê¾÷ °øÁ¤
- ÇöóÁ Àý´Ü ¹× ¿ëÁ¢
- ¿Ã³¸® ¹× ºê·¹ÀÌ¡
2. ȯ°æ ¹× ¿¡³ÊÁö ºÐ¾ß
- Æó±â¹° ó¸® ¹× °¡½º Á¤È
- À¯Çع°Áú ºÐÇØ
3. ¹ÝµµÃ¼ ¹× Ç¥¸éó¸®
- ½Ä°¢(Etching) ¹× ÁõÂø
- Ç¥¸é Ȱ¼ºÈ ¹× ÄÚÆÃ
4. Ư¼ö »ê¾÷ ºÐ¾ß
- ¿ìÁÖÇ×°ø ¹× ÷´Ü ¼ÒÀç °¡°ø
- ÀÇ·á ¹× ¹ÙÀÌ¿À ÀÀ¿ë
ÇöóÁ ÅäÄ¡¶õ?
ÇöóÁ ÅäÄ¡´Â Àü¿øÀåÄ¡¿¡¼ °ø±ÞµÇ´Â Àü±â¿¡³ÊÁö¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿©
±âü¸¦ ÀÌ¿ÂȽÃÄÑ ÇöóÁ¸¦ »ý¼ºÇϰí,
À̸¦ °í¿ÂÀÇ ÇöóÁ Á¦Æ® ÇüÅ·ΠºÐ»çÇÏ´Â ÀåÄ¡ÀÔ´Ï´Ù.
ÅäÄ¡ ³»ºÎ¿¡¼´Â Àü±Ø °£ ¾ÆÅ© ¹æÀüÀ» ÅëÇØ ÇöóÁ°¡ Çü¼ºµÇ¸ç,
À̶§ ¹ß»ýÇÏ´Â °í¿Â ¿¡³ÊÁö¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© ´Ù¾çÇÑ °øÁ¤ÀÌ ¼öÇàµË´Ï´Ù.
ÇöóÁ ÅäÄ¡ÀÇ ÁÖ¿ä ±â´É
- °í¿Â ÇöóÁ »ý¼º
- ¾ÈÁ¤ÀûÀÎ ¾ÆÅ© À¯Áö
- ÇöóÁ È帧 ¹× Ãâ·Â Á¦¾î
- Á¤¹Ð °øÁ¤ ¼öÇà °¡´É
ÇöóÁ Àü¿øÀåÄ¡ÀÇ Á߿伺
- Ãâ·Â ¾ÈÁ¤¼º ¡æ ÇöóÁ ǰÁú °áÁ¤
- Á¤¹Ð Á¦¾î ¡æ °øÁ¤ ÀçÇö¼º È®º¸
- °íÃâ·Â ±¸Çö ¡æ »ê¾÷ Àû¿ë ¹üÀ§ È®´ë
- ½Ã½ºÅÛ ¾ÈÁ¤¼º ¡æ Àåºñ ¼ö¸í ¹× ¾ÈÀü È®º¸
ÇöóÁ ½Ã½ºÅÛ¿¡¼ Àü¿øÀåÄ¡´Â ´Ü¼øÇÑ Àü·Â °ø±Þ ÀåÄ¡°¡ ¾Æ´Ï¶ó,
ÇöóÁ ¼º´ÉÀ» °áÁ¤Áþ´Â ÇÙ½É ±â¼ú ¿ä¼ÒÀÔ´Ï´Ù.
¿À¼ºÇÏÀÌÅØÀÇ ÇöóÁ Àü¿øÀåÄ¡ ±â¼ú ¹× Àû¿ë »ç·Ê
¿À¼ºÇÏÀÌÅØÀº °íÁÖÆÄ Àü·Â º¯È¯ ±â¼ú°ú °íÃâ·Â Àü¿ø ¼³°è ³ëÇϿ츦 ±â¹ÝÀ¸·Î
500kW±Þ ÇöóÁ Àü¿øÀåÄ¡ °³¹ß ¹× ³³Ç°À» ¼º°øÀûÀ¸·Î ¼öÇàÇÏ¿´½À´Ï´Ù.
¶ÇÇÑ µ¿ÀÏ Àü¿øÀåÄ¡ 2´ë¸¦ º´·Ä·Î ±¸¼ºÇÏ¿©
ÃÖ´ë 1MW±Þ Ãâ·Â ½Ã½ºÅÛÀ¸·Î ¿î¿ëµÈ »ç·Ê¸¦ º¸À¯Çϰí ÀÖÀ¸¸ç,
°íÃâ·Â ȯ°æ¿¡¼µµ ¾ÈÁ¤ÀûÀÎ ¼º´É°ú ½Å·Ú¼ºÀ» ÀÔÁõÇÏ¿´½À´Ï´Ù.
- 500kW±Þ °íÃâ·Â Àü¿øÀåÄ¡ °³¹ß
- º´·Ä ¿îÀüÀ» ÅëÇÑ 1MW±Þ ½Ã½ºÅÛ ±¸Çö
- »ê¾÷ ÇöÀå Àû¿ë ¹× ¾ÈÁ¤¼º °ËÁõ ¿Ï·á
°á·Ð
ÇöóÁ´Â ´Ù¾çÇÑ »ê¾÷ ºÐ¾ß¿¡¼ ÇÙ½ÉÀûÀÎ ¿ªÇÒÀ» ¼öÇàÇϴ ÷´Ü ±â¼úÀ̸ç,
À̸¦ ¾ÈÁ¤ÀûÀ¸·Î ±¸ÇöÇϱâ À§Çؼ´Â °í¼º´É Àü¿øÀåÄ¡¿Í Á¤¹ÐÇÑ Á¦¾î ±â¼úÀÌ ÇʼöÀûÀÔ´Ï´Ù.
¿À¼ºÇÏÀÌÅØÀº °íÃâ·Â Àü¿øÀåÄ¡ ±â¼úÀ» ±â¹ÝÀ¸·Î
ÇöóÁ ½Ã½ºÅÛÀÇ ¼º´É°ú ¾ÈÁ¤¼ºÀ» µ¿½Ã¿¡ È®º¸ÇÏ´Â ¼Ö·ç¼ÇÀ» Á¦°øÇÕ´Ï´Ù.
ÇÑ ÁÙ ¿ä¾à
ÇöóÁÀÇ ¼º´ÉÀº Àü¿øÀåÄ¡¿¡ ÀÇÇØ °áÁ¤µÇ¸ç, ¿À¼ºÇÏÀÌÅØÀº 500kW~1MW±Þ °íÃâ·Â Àü¿øÀåÄ¡ ±â¼ú·Î »ê¾÷ ÇöÀå¿¡¼ ±× ¼º´ÉÀ» ÀÔÁõÇϰí ÀÖ½À´Ï´Ù.